반도체 에칭 공정을위한 오일 – 물 윤활 공기 압축기를 선택하는 방법

반 도 체 제조 산업 배경

반 도 체 에 칭 공정 에서 , 압 축 공 기는ISO 85 73 – 1 클래 스 0오 일 프리 표준 (오 일 함 량 ≤ 0. 00 1 mg / m 3) 및 준수SE MI F 5 – 0 20 2 E가 스의 순 도에 대한 엄격 한 요구 사항 .에 있는3 nm 공정압 축 공 기의 미 립 자 농 도는 ≤ 0. 01 p cs / m 3 (ISO 146 44 – 1 클래 스 1 표준 에 따라 ≥ 0. 1 μ m 입 자 크기) 이 어야 하며 재료 의 가스 방 출 률 은 < 5 × 10 – 10 g / cm 2 · s (통 합)AS TM E 5 95테스트) 2023 년 ** SE MI S 23 – 08 16 ” 반 도 체 장비 압 축 가스 시스템 가 이드 ” ** 의 업데이트 로 공기 압 축 기는 N F 3, C 4 F 8 과 같은 100 % 불 활 성 가스 호 환 성을 충족 해야합니다 .

왜 반 도 체 에 칭 은 오 일 – 물 윤 활 공기 압 축 기를 필요로 합니까 ?

대체 할 수 없는 특성 :

• 오염 위험 제 로물 윤 활 기술은 오 일 미 스트 오염 원 천 을 완전히 제거 하고 (ISO 85 73 – 1 Class 0 인증) 레 지 스트 층 의 비 정 상적인 결 함을 방지 합니다 .
• 프로세 스 안정 성：双闭环水循环系统确保排气温度波动≤±0.3℃（符合SEMI E10-0309动态控制标准）。
• 재료 호 환 성: 31 6 L 스테 인 레스 스 틸 채널 은 E PD M 씰 과 결합 되어 SE MI F 57 – 03 12 화학 적 호 환 성 테스트 를 통과 합니다 .

반 도 체 코 어 매 개 변 수 선택

주요 지 표 및 테스트 기준 :

• 이슬 점 제어: ≤ – 70 ° C (ISO 85 73 – 2: 2018 압 력 이슬 점 테스트)
• 진 동 억 제 .≤ 1. 2 mm / s (VD I 20 83 클 린 룸 장비 진 동 사 양)
• 미 립 자 물질 제어: ≥ 0. 1 μ m 입 자 수 ≤ 0. 01 개 / m 3 (ISO 146 44 – 1 Class 1)
• 정 전 기 방지 능력표 면 저항 ≤ 1 × 106 Ω (I EC 6 13 40 – 5 – 1 정 전 기 보호 표준)

오 일 없는 물 윤 활 공기 압 축 기를 사용하지 않은 경우 의 잠재적 위험

• 수익 률 손실오 일 미 스트 오염 으로 인해 웨 이 퍼 결 함 률 이 0. 5 – 1. 2 % 증가 합니다 (S EM I M 49 – 03 18 데이터 모델을 기반으로).
• 장비 가 동 중지: 윤 활 유 탄 화 가 가스 파이 프 라 인을 막 았습니다 (AS TM F 83 8 – 15 필 터 무 결 성 테스트 에 실패).
• 공 정이 통제 불 능 이다 .: 온 도 변 동 으로 인한 에 칭 속도 편 차 ≥ 3 % (S EM I E 10 – 0 30 9 공정 안정 성 기준)

오 일 – 수 없는 윤 활 공기 압 축 기의 경제적 이 점

• 유지 보 수 비용물 윤 활 시스템은 필 터 교체 빈 도를 95% 감소 시킵니다 (I EC 600 34 – 1 내 구 성 테스트).
• 에너지 소비 최적 화: 열 회 수 시스템은 0. 12 kW / m 3 의 에너지 효율 을 향상 시킵니다 (ISO 5000 1 인증).
• 수익 률 이 높아 지 다 .: 깨끗한 가스 공급 은 웨 이 퍼 수 율 을 0. 8 – 1. 5 % 증가 시킵니다 (S EM I 기준 데이터).

반 도 체 제조 에서의 오 일 없는 컴 프 레 서 와 오 일 있는 컴 프 레 서의 응용 비교 표

요 약 하다

국제 표준 을 충족 하는 오 일 프리 압 축 기술을 채택 한 Gran k lin 은 SE MI S 2 / S 8 인증 및 N F PA 99 의료 가스 표준 을 통해 3 nm 첨 단 공 정을 위한 에 칭 에서 침 착 에 이르 기까지 전체 공정 에서 깨끗한 공 기를 제공합니다 .반 도 체 산업 이 무 어의 법칙 의 한 계를 돌 파 하는 과정에서 오 일 없는 기술은 공정 안정 성과 수 율 을 보장 하는 핵심 인 프 라 가 되었습니다 .