반도체 에칭 산업용 오일리스 공기 압축기를 선택하는 방법

반도체 에칭 산업 배경

반도체 웨이퍼 에칭 공정에서, 압축 공기는 다음과 같은 몇 가지 측면에서 널리 사용됩니다:

1. 구동 진공 흡수기;
2. 반응 챔버 압력 제어;
3. 레지스트 잔류물 청소。

반도체 공정의 높은 정밀성 요구 사항으로 인해 압축 공기는 웨이퍼 표면을 오염시키지 않기 위해 매우 높은 청결 기준을 충족해야합니다.충족해야 할 요구 사항은 다음과 같습니다.

• ISO 8573 – 1 클래스 0(오 일 함 량 ≤ 0. 01 mg / m 3), 윤 활 유 의 휘 발 성 오염 을 방지 하기 위해 ;
• SE MI F 5 에 대한 리뷰 보기(청 정 압 축 공기 가 이드), 입 자 크기 ≤ 0. 01 μ m (ISO 146 44 – 1 클래 스 1 표준 을 준수);
• I EC 6 13 40 – 5 – 1(정 전 기 보호 표준), 압 축 공 기는 전도 도 ≥ 1 μ S / cm 의 정 전 기 방지 처 리를 통과 해야합니다 .

SE MI 2023 업 계 보고서 에 따르면 기름 이 함 유 된 압 축 공 기는 웨 이 퍼 폐기 율 을 0. 3 % 에서 0. 8 % 까지 증가 시킬 수 있으며 단일 오염 손실 은 최대 50 만 달러 에 달 할 수 있습니다 .

왜 반 도 체 에 칭 은 산업 용 오 일 없는 공기 압 축 기를 필요로 하는가 ?

1. 절대 적인 청 결 보장오 일 프리 기술은 윤 활 유 의 분 해 로 인한 0. 1 – 0. 5 μ m 탄 화 물 입 자를 제거 하여 SE MI E 78 청 결 사 양 을 위반 하지 않으 므로 웨 이 퍼 라 인의 단 락 을 방지 합니다 .
2. 정 전 기 제어: 물 기반 윤활 시스템은 전기를 전도성 (저항 ≤ 106 Ω · cm, ANSI / ESD S 20. 20 인증을 통해) 을 가지고 있으며, 정전기 방전 (ESD) 손상을 방지 할 수 있습니다.
3. 프로세스 안정성압력 변동은 ≤ ± 0. 2 % (SEMI E 109 동적 압력 제어 표준에 따라) 로 유지되어 0. 5 % 미만의 오차로 에칭 속도의 균일성을 보장합니다.

반도체 에칭 코어 매개변수 선택 (국제 표준 포함)

1. 청결도 제어：
   • 기름분 함량≤ 0. 001 mg / m 3 (ISO 8573 – 1 클래스 0 보다 엄격한)
   • 미립자 물질≤ 0. 003 μ m (ISO 29463 고효율 필터 테스트를 통해)
2. 정전기 방지 성능：
   • 공기 전도성: 1 – 10 μ S / cm (SEMI F 47 정전기 보호 기준을 준수);
   • 표면 저항: ≤ 109 Ω (ASTM D 257 재료 전도성 테스트를 통해);
3. 공급압력 안정성：
   • 압력 파동: ≤ ± 0. 15% (ISO 1217 Annex D 동적 압력 테스트를 충족);
   • 즉각 적인 트 래 픽 응답 시간≤ 0. 1 초 (VD MA 15 39 2 산업 용 압 축 공기 성 능 인증)

산업 용 오 일 없는 공기 압 축 기를 사용하지 않는 반 도 체 에 칭 의 잠재적 위험

1. 제품 폐기 위험: 윤 활 유 증 기가 웨 이 퍼 표 면에 침 착 되어 SE MI M 82 공정 공 차 상 한 을 초 과 하여 폐기 위험을 증가 시키는 에 칭 선 가 중 치 오 차 ≥ 5 nm 를 초래 할 수 있습니다 .
2. 장비 유지 보 수 비용 급 증오 일 함 유 시스템은 매 월 반응 챔 버 를 청소 해야 하며 (비 용 은 시간 당 약 12, 000 달러) 진 공 펌 프 수 명을 40 % 단 축 합니다 (S EM I S 2 장비 신뢰 성 사 양 을 위반).
3. 규정 준수 벌 칙IT RS 2. 0 기술 로 드 맵 의 청 결 성 요구 사항을 통과 하지 않으면 웨 이 퍼 제조 업 체의 자격 취소 위험이 있습니다 .

산업 용 오 일 리스 에 어 컴 프 레 서 사용 의 경제적 이 점

반 도 체 에 칭 에 대한 산업 용 오 일 없는 공기 압 축 기와 오 일 유 형 공기 압 축 기의 적용 비교

요약하다

오일 오염, 나노 크기의 청결성 및 완전 자동 정전기 방지 제어를 통해 산업용 오일 프리 공기 압축기는 반도체 에코딩 공정의 수율과 장비 수명을 보장하는 핵심 장비가되었습니다. Granklin 의 산업용 오일 프리 압축 기술은 ISO 8573 – 1 Class 0 및 SEMI F 5 표준을 준수하여 전 세계 반도체 기업에 3 nm 공정 요구 사항을 충족시키는 압축 공기 솔루션을 제공합니다.