반도체 제조 물 윤활 공기 압축기를 선택하는 방법

반 도 체 제조 산업 배경

반 도 체 웨 이 퍼 제조 에서 압 축 공 기는 리 소 그래 피 기계 공기 플로 팅 베 어 링 , 에 칭 기계 압 력 제어 및 클 린 룸 환경 유지 에 널리 사용됩니다 .제품 품질 을 보장 하고 장비 의 안정 적인 작동 을 유지 하기 위해 압 축 공 기는 다음과 같은 요구 사항을 충족 해야합니다 .

• ISO 85 73 – 1 클래 스 0(오 일 함 량 ≤ 0. 01 mg / m 3), 윤 활 유 에 어로 졸 이 웨 이 퍼 표 면을 오염 시키는 것을 방지 하기 위해 ;
• SE MI F 5 에 대한 리뷰 보기(청 정 압 축 공기 사 양), 미 립 자 물질 입 자 크 기는 ≤ 0. 00 3 μ m , ISO 146 44 – 1 클래 스 1 표준 을 준수 해야합니다 ;
• I EC 6 23 68 – 1 (중 국 표준)(장 비 안전 표준) 은 압 축 공기 시스템이 1, 000 시간의 연속 적인 고 장 없는 작동 테스트 를 통과 할 수 있어야합니다 .

데이터 에 따르면 기름 이 함 유 된 압 축 공 기는 팩 트 장비 가 동 중지 시간을 12 % 증가 시키고 오염 당 80 만 달러 이상의 손실 을 초래 합니다 (데이 터 출 처 : SE MI 2024 기술 백 서).

반 도 체 제조 에는 물 윤 활 공기 압 축 기가 필요한 이유

1. 윤활유 오염 없음：
   • 물 윤활 기술은 윤활유를 대체하기 위해 탈이온 물을 사용하여 (ASTM D 1193 순수 물 표준에 따라) 나노 탄화수소 잔류물 (< 0. 001 mg / m 3) 을 제거하고 오일 미스트 오염을 방지합니다.
2. 초정밀 필터링：
   • 다단계 여과 시스템 (HEPA + ULPA) 은 미립자 차단율 ≥ 99. 99995% 를 달성하고 ISO 29463 테스트를 통과하여 3 nm 공정의 청결 요구 사항을 충족시킵니다.
3. 에너지 절약 및 소비 감소：
   • 물 순환 냉각 시스템은 에너지 소비를 30 % 줄일 수 있으며 (ISO 50001 에너지 관리 시스템 준수) 오일 윤활 시스템과 비교하여 연간 전력 절감 ≥ 150, 000 kWh 에 도달합니다.

반도체 제조의 핵심 매개 변수 선택 (국제 표준 포함)

• 필 터 링 성 능：
  • 여 과 정확 도 : 0. 00 3 μ m (ISO 168 90 등 급 테스트 를 통해)
  • 미 립 자 물질 격 리 : ≥ 99. 999% (S EM I E 78 깨끗한 압 축 공기 사 양 을 준수)
• 내 식 성：
  • 재료 산 성 및 알 칼 리 성 등 급 : PH 2 – 12 (AS TM G 31 침 식 테스트)
  • 표 면 거 칠 기 : Ra ≤ 0. 4 μ m (AS ME B 46. 1 표 면 마 감 기준 을 충족)
• 가스 공급 안정 성：
  • 압 력 변 동 : ≤ ± 0. 1% (VD MA 15 39 2 동 적 압 력 사 양 에 따라)
  • 露点温度：≤-80℃（通过ISO 8573-3 Class 1认证）

반 도 체 제조 에서 물을 사용하지 않은 윤 활 공기 압 축 기의 잠재적 위험

1. 제조 공정 오염 통제 불 능：
   • 윤 활 유 휘 발 성 증 착 물은 SE MI M 52 결 함 밀 도 제어 표준 을 위반 하는 웨 이 퍼 결 함 밀 도 ≥ 0. 1 / cm 2 를 일으킬 수 있습니다 .
2. 장치 수 명 감 쇠：
   • 산 성 가 스와 반응 하여 황 산 염 결정 (입 자 크기 0. 05 – 0. 2 μ m) 을 생성 하여 진 공 펌 프 마 모 를 가 속 화 하여 장비 수 명을 50 % 단 축 합니다 .
3. 탄 소 배출 이 기준 을 초 과 하다 .：
   • 전통적인 오 일 윤 활 시스템의 연 간 탄 소 배출 량은 180 톤 의 CO 2 에 도달 하여 웨 이 퍼 공 장의 탄 소 중 립 목표 한 계를 초 과 합니다 .

공기 압 축 기를 윤 활 하는 물 의 경제적 이 점

반 도 체 제조 에서의 물 윤 활 공기 압 축 기와 오 일 윤 활 공기 압 축 기의 적용 비교

요약하다

오일 오염, 나노 필터링 및 폐쇄 루프 물 순환 기술을 통해 물 윤활 공기 압축기는 반도체 제조 산업에서 첨단 공정 및 지속 가능한 생산을 달성하기위한 핵심 장비가되었습니다. Granklin 의 물 윤활 압축 기술은 ISO 8573 – 1 Class 0 및 SEMI F 5 표준을 준수하여 전 세계 웨이퍼 팩트에서 2 nm 미만의 프로세스에 적합한 깨끗한 압축 공기 솔루션을 제공합니다.